Tecnologia do núcleo
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Tecnologia do núcleo

Técnicas de crescimento epitaxial

Epitaxial growth

O crescimento epitaxial refere-se ao método de estender e crescer uma camada monocristalina em um cristal pré-existente (geralmente chamado de substrato) em uma certa orientação cristalográfica. Esta camada monocristalina é chamada de camada epitaxial. O crescimento epitaxial pode controlar com precisão os componentes, espessura, interface, dopagem e uniformidade da camada epitaxial. É o primeiro procedimento de passo para a fabricação de laser de semicondutores. A estrutura e a qualidade do material de crescimento epitaxial determinam diretamente o comprimento de onda, o poder, a vida e a confiabilidade do chip de laser de diodo. É uma das principais tecnologias de fabricação de laser de diodo.

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Processo FAB wafer

FAB Wafer process

O processamento do processo FAB wafer é um processo chave para processar lasers de semicondutores ou outros dispositivos optoeletrônicos em chips laser epitaxial. Usando a litografia, gravando a tecnologia na estrutura epitaxial para produzir gráficos em micron e nano-escala, para completar a definição da estrutura transversal de dispositivos optoeletrônicos, como lasers de diodo, para construir a cavidade ressonante completa do laser de diodo e a estrutura funcional de outros dispositivos optoeletrônicos. Reutilizar o filme dielétrico e o crescimento de filme de metal e outros processos para completar a preparação de eletrodos de injeção de corrente de dispositivos optoeletrônicos, como lasers de semicondutores, para completar a preparação de chips de laser de semicondutores e outros chips optoeletrônicos.

Cavity face clivagem passivation tecnologia

Cavity surface passivation treatment equipment and technology

Em termos de processamento de clivagem e passivação da cavidade, o processo de clivagem e passivação da cavidade com vácuo ultra-alto (< 10-10torr) é usado, combinado com a nova estrutura e processo de chips sem janela de absorção, para melhorar o poder dos chips contra danos ópticos de desastre da cavidade.

Apresentação do caso
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Combinação de alto brilho e acoplamento de fibra

High brightness combined beam And fiber coupling

Em vista do problema difícil da baixa qualidade espectral, da má qualidade do feixe e da baixa qualidade espectral do laser do diodo do poder superior, Adota a concepção de dispositivos de micro e compacto laser reduz o tamanho e volume, um corpo raster e grade espectro mistura de síntese sobre a qualidade do feixe de alta produção cem vezes maior para aumentar a potência, redução de bloqueio um comprimento de onda superfície raster, centro de deriva de comprimento de onda, ao mesmo tempo, aumentar a qualidade e utilização eficiente do espectro de fibra óptica a execução técnica de engate laser, melhorar o sistema de transporte, mas flexível Pelo sexo, através do projeto da estrutura inovativa e do desenvolvimento do travamento do comprimento de onda do avanço e da tecnologia de síntese espectral, nós desenvolvemos o poder superior, o brilho alto e a qualidade espectral alta do módulo acoplado da fibra ótica.

Técnicas de crescimento epitaxial

Epitaxial growth

O crescimento epitaxial refere-se ao método de estender e crescer uma camada monocristalina em um cristal pré-existente (geralmente chamado de substrato) em uma certa orientação cristalográfica. Esta camada monocristalina é chamada de camada epitaxial. O crescimento epitaxial pode controlar com precisão os componentes, espessura, interface, dopagem e uniformidade da camada epitaxial. É o primeiro procedimento de passo para a fabricação de laser de semicondutores. A estrutura e a qualidade do material de crescimento epitaxial determinam diretamente o comprimento de onda, o poder, a vida e a confiabilidade do chip de laser de diodo. É uma das principais tecnologias de fabricação de laser de diodo.

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Processo FAB wafer

FAB Wafer process

O processamento do processo FAB wafer é um processo chave para processar lasers de semicondutores ou outros dispositivos optoeletrônicos em chips laser epitaxial. Usando a litografia, gravando a tecnologia na estrutura epitaxial para produzir gráficos em micron e nano-escala, para completar a definição da estrutura transversal de dispositivos optoeletrônicos, como lasers de diodo, para construir a cavidade ressonante completa do laser de diodo e a estrutura funcional de outros dispositivos optoeletrônicos. Reutilizar o filme dielétrico e o crescimento de filme de metal e outros processos para completar a preparação de eletrodos de injeção de corrente de dispositivos optoeletrônicos, como lasers de semicondutores, para completar a preparação de chips de laser de semicondutores e outros chips optoeletrônicos.

Equipamento e processo para tratamento de passivação da superfície da câmara

Cavity surface passivation treatment equipment and technology

Em termos de processamento de clivagem e passivação da cavidade, o processo de clivagem e passivação da cavidade com vácuo ultra-alto (< 10-10torr) é usado, combinado com a nova estrutura e processo de chips sem janela de absorção, para melhorar o poder dos chips contra danos ópticos de desastre da cavidade.

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Combinação de alto brilho e acoplamento de fibra

High brightness combined beam And fiber coupling

Em vista do problema difícil da baixa qualidade espectral, da má qualidade do feixe e da baixa qualidade espectral do laser do diodo do poder superior, Adota a concepção de dispositivos de micro e compacto laser reduz o tamanho e volume, um corpo raster e grade espectro mistura de síntese sobre a qualidade do feixe de alta produção cem vezes maior para aumentar a potência, redução de bloqueio um comprimento de onda superfície raster, centro de deriva de comprimento de onda, ao mesmo tempo, aumentar a qualidade e utilização eficiente do espectro de fibra óptica a execução técnica de engate laser, melhorar o sistema de transporte, mas flexível Pelo sexo, através do projeto da estrutura inovativa e do desenvolvimento do travamento do comprimento de onda do avanço e da tecnologia de síntese espectral, nós desenvolvemos o poder superior, o brilho alto e a qualidade espectral alta do módulo acoplado da fibra ótica.

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